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500℃真空平板熱壓機(平板尺寸100×100~400×400mm,20-40T)
型號:
YLJ-HPV-5-XX
產品概述:
YLJ-VHP5 是一款真空平板熱壓機,專為晶圓鍵合、薄膜轉移和 LCP 層壓設計,加熱面積為 100 ×100 mm~400×400mm。其最高工作溫度為 500 ℃,最大壓力為 20T~40T。
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
基本參數

產品型號

·YLJ-VHP5-4

·YLJ-VHP5-12

·YLJ-VHP5-16

電壓和功率

·AC 208 - 240 V, 50/60 Hz
·單相 2,000 W

·AC 208 - 240 V, 50/60 Hz
·單相 5,000 W

·AC 208 - 240 V, 50/60 Hz
·單相 6500 W

加熱平板

(其他尺寸可定制)

·100×100mm

·300×300mm

·400×400mm

2個平板最大距離

·30mm

·40mm

·40mm

腔體尺寸和容積

·525 L x 480 W x 450 H (mm)
·~ 75 L

·614 L x 574 W x 514 H (mm)
·~ 170 L

·700 L x650 W x 550H (mm)
·~250 L

加熱平板承受最大壓力

·10T(500℃)

·20T (室溫)

·20T(500℃)

·30T (室溫)

·30T(500℃)

·40T (室溫)


真空平板熱壓機結構

·2塊加熱平板最高工作溫度500℃,采用高溫合金制作

·加熱元件插入加熱板的中心,以實現快速加熱。

·2塊加熱板分別由2個溫控儀表獨立控溫,30段程序控溫

·在加熱板的頂部和底部都安裝了水冷套管,以輔助散熱。進/出水管為外徑12mm聚氨酯管

圖片1.png 圖片2.png  

液壓泵

·改良后的電動液壓機安裝在工作臺下方,并與一個真空腔室相連

·壓缸最大行程15mm

·通過數字壓力表設置,自動壓力控制

·壓力精度:+/-0.01 Mpa ( 0.1 kg/cm2)

·當溫度超過 200℃時,需要采用水冷方式(冷卻流量>16 L/min)來冷卻加熱板。


溫度控制和壓力顯示

·2塊加熱板分別由2個溫控儀表獨立控溫,30段程序控溫,控溫精度±1℃

·溫度控制器具備 PID 自動校準功能、過熱保護以及斷熱電偶保護功能。

·最高工作溫度:500℃(惰性氣氛或真空環境下)

·最高加熱速率:5℃/min

·控制面板內內置了一款數字壓力計(控制器)。您可以設定所需的壓力值,這樣就能使電動液壓機到達壓力值時自動恒壓。

圖片3.png 

真空腔體

·電動液壓機和加熱板被放置在真空室內部

·真空室由 SS304 不銹鋼制成

·安裝有一個真空密封門,直徑300mm,有一個直徑150mm的石英窗口,便于裝樣品和觀察

·所有真空密封均使用硅橡膠 O 型圈

·可選購安裝了一個數字真空計(10E-4Torr)測量真空腔室的真空度


可選

·可選購設備(需額外費用)

·需要一臺循環水冷機,用于對過熱的散熱板進行冷卻,以加快冷卻速度。

·可選購真空泵,機械泵抽真空度300mTorr,分子泵系統抽真空度10-4Torr

圖片4.png圖片5.png 圖片6.png    

應用注意

·此款熱壓機也可用于測量熱電發電機模塊(頂部受熱,底部冷卻)

圖片7.png 


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